HORIBA STEC SEC-E40V SEC-E50V 气体质量流量控制器

HORIBA STEC SEC-E40V SEC-E50V 气体质量流量控制器

SEC-E40 SEC-E50 系列

质量流量控制器

这种通用质量流量控制器具有可靠的热传感器和电磁阀，可实现高水平的气流控制。作为一种多功能组件，SEC-E 系列质量流量控制器可用于各种行业。

通过质量流量控制器的气流可控制在不同的流量范围内：10 SCCM 至 200 SLM。

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